LITHOGRAPHIC APPARATUS AND METHOD.,申请号NL20102005378-传众专利搜索

发明名称	LITHOGRAPHIC APPARATUS AND METHOD.
摘要
申请公布号	NL2005378(A)	申请公布日期	2011.06.21
申请号	NL20102005378	申请日期	2010.09.21
申请人	ASML NETHERLANDS B.V.	发明人	BOTMA, HAKO;HOMBERG, JOHANNES ALDEGONDA THEODORUS
分类号	G03F7/20	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
主权项
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