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发明名称 A METHOD OF DETECTING A PARTICLE AND A LITHOGRAPHIC APPARATUS.
摘要
申请公布号 NL2005464(A) 申请公布日期 2011.06.21
申请号 NL20102005464 申请日期 2010.10.06
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 SCACCABAROZZI, LUIGI;BANINE, VADIM;WAGNER, CHRISTIAN
分类号 G01N21/94;G03F7/20 主分类号 G01N21/94
代理机构 代理人
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