| 发明名称 | 一种等长晶圆棒或等长方晶锭的拼接装置及方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种等长晶圆棒或等长方晶锭的拼接装置及方法，包括拼接机构及配套的吸拿工具，通过承载对中桶上的定位螺丝固定等径短圆晶棒或等边方锭，并通过同心度确定装置确保上下叠置的四个等径短圆晶棒或等边方锭的同心度，把四个等径短圆晶棒的四个结晶对称棱线由下至上对齐，或把四个等边方锭的四角由下至上对齐，在等径短圆晶棒或等边方锭的外表面上划一直线作为二次对接线，用吸拿工具将上面的第二～第四个等径短圆晶棒或等边方锭依次提出，抹上粘接剂后按二次对接线重新对齐、固定，完成拼接。本发明所述的拼接装置及方法，拼接时间短，拼接好的等长晶圆棒或等长方晶锭的同心度好，四个结晶对称棱线或方锭四角容易对齐，易于标准化和规模化生产。 | ||
| 申请公布号 | CN102102226A | 申请公布日期 | 2011.06.22 |
| 申请号 | CN201110046681.1 | 申请日期 | 2011.02.28 |
| 申请人 | 温州神硅电子有限公司 | 发明人 | 王飞;宋志安;赖汝萍 |
| 分类号 | C30B33/06(2006.01)I | 主分类号 | C30B33/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京捷诚信通专利事务所(普通合伙) 11221 | 代理人 | 董琪 |
| 主权项 | 一种等长晶圆棒或等长方晶锭的拼接装置，其特征在于，包括拼接机构及配套的吸拿工具，所述拼接机构包括：一圆柱形的承载对中桶(3)，其桶体的外表面十字对称的设有四列纵向定位线，所述纵向定位线由若干从上至下等间隔排列的定位螺丝(4)组成，相邻的两个纵向定位线之间的桶体上设有同心度测试开口(5)，承载对中桶(3)开口朝上，桶底(6)底面居中设有一个转轴(7)，转轴(7)穿装在盒式方台(14)正中的通孔内，且转轴(7)与盒式方台(14)保持绝对垂直，盒式方台(14)上表面设有固定转轴(7)的轴承上密封盖(9)，转轴(7)位于盒式方台(14)内腔中的轴身上从上至下依次套装有7008C/P4a轴承(10)、7008C/P4b轴承(11)、轴承护套(12)，轴承护套(12)的下表面与台下压紧轴承盖(13)的上表面抵接，台下压紧轴承盖(13)和轴承上密封盖(9)的四角各通过一个锁紧螺丝(8)固定连接，承载对中桶(3)通过转轴(7)与7008C/P4a轴承(10)、7008C/P4b轴承(11)的配合沿转轴(7)纵轴线360°自由转动，盒式方台(14)上表面的一角设有一同心度确定装置。 | ||
| 地址 | 325000 浙江省苍南县灵溪镇工业园区二期环城北路以南温州神硅电子有限公司 | ||