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经营范围
发明名称
Method of thermal vapour deposition using resist
摘要
申请公布号
KR101042849(B1)
申请公布日期
2011.06.17
申请号
KR20030094159
申请日期
2003.12.19
申请人
发明人
分类号
H01L21/203
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
地址
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