发明名称 Defect-inspecting apparatus and contol method therof
摘要
申请公布号 KR101041840(B1) 申请公布日期 2011.06.17
申请号 KR20080045086 申请日期 2008.05.15
申请人 发明人
分类号 G01N23/04;G01N23/00;G01N23/18 主分类号 G01N23/04
代理机构 代理人
主权项
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