MICRO/NANO-RESONATEUR COMPENSE A DETECTION CAPACITIVE AMELIOREE ET PROCEDE D'ELABORATION

摘要

Le résonateur comporte un élément oscillant (1) et des première (2) et deuxième (3) électrodes d'excitation de l'élément oscillant (1). Un générateur de signaux alternatifs est connecté aux première (2) et deuxième (3) électrodes d'excitation et il délivre sur les première (2) et deuxième (3) électrodes des premier et second signaux de même amplitudes et en opposition de phase. Une première source de tension continue est connectée à une troisième électrode (4). Une seconde source de tension continue est connectée à une quatrième électrode (5). Une électrode additionnelle (6) est connectée électriquement à l'élément oscillant (1). Un signal représentatif de l'oscillation de l'élément oscillant (1) étant fourni par l'électrode additionnelle (6) formée par un pont d'ancrage de l'élément oscillant (1) et polarisée par une troisième tension continue.