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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER BRÜCKE IN EINER MIKRO-ANORDNUNG
摘要
申请公布号
DE69943412(D1)
申请公布日期
2011.06.16
申请号
DE19996043412
申请日期
1999.09.13
申请人
QINETIQ LIMITED
发明人
MCNIE, MARK EDWARD
分类号
G01P1/00;B81C1/00;G01C19/56;G01P15/08;H01L29/84
主分类号
G01P1/00
代理机构
代理人
主权项
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