发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER BRÜCKE IN EINER MIKRO-ANORDNUNG
摘要
申请公布号 DE69943412(D1) 申请公布日期 2011.06.16
申请号 DE19996043412 申请日期 1999.09.13
申请人 QINETIQ LIMITED 发明人 MCNIE, MARK EDWARD
分类号 G01P1/00;B81C1/00;G01C19/56;G01P15/08;H01L29/84 主分类号 G01P1/00
代理机构 代理人
主权项
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