发明名称 Herstellung eines Bauelements
摘要
申请公布号 DE102009054659(A1) 申请公布日期 2011.06.16
申请号 DE200910054659 申请日期 2009.12.15
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 BISCHOPINK, GEORG;LEINENBACH, CHRISTINA
分类号 H01L21/78;H01L21/301 主分类号 H01L21/78
代理机构 代理人
主权项
地址