DEFLECTING DEVICE FOR ELECTRON BEAMS, MAGNETIC DEFLECTING UNIT FOR SUCH A DEFLECTING DEVICE, AND DEVICE FOR VAPOR COATING A PLANAR SUBSTRATE USING SUCH A DEFLECTING DEVICE

摘要

Es wird eine Verdampfungsvorrichtung beschrieben, bei der mit vorzugsweise mehreren Elektronenstrahlkanonen (7) ein länglicher Tiegel (5) mit zu verdampfendem Material mit einem Elektronenstrahl (8) beaufschlagt wird. Jede Elektronenstrahlkanone (7) ist für einen bestimmten Abschnitt des Tiegels (5) zuständig. In diesem Abschnitt wird der Elektronenstrahl (8) pendelnd über die Schmelze (6) geführt. Dazu ist eine erste magnetische Ablenkeinheit (12) vorgesehen, die einen sich ändernden Parallelversatz des Elektronenstrahles (8) erzeugt. Um dies zu erreichen, sind zwei Magnetfelder (13, 14) vorgesehen, deren Magnetfeldgrenzen (20, 21) eine Art Linsensystem bilden, wobei die Austrittsseite des ersten Magnetfeldes (13) konvex und die Eintrittsseite des zweiten Magnetfeldes (14) konkav ausgeführt ist. Zum Ablenken des Elektronenstrahls (8) in den Tiegel (5) ist eine zweite magnetische Ablenkeinheit (15) vorgesehen, deren Magnetfeld synchron zum Strahlversatz parallel zum Tiegel (5) verschiebbar ist.