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发明名称 Prozess-Heizkammer und Verwendung derselben
摘要
申请公布号 DE102004060188(B4) 申请公布日期 2011.06.16
申请号 DE20041060188 申请日期 2004.12.14
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 GUTT, THOMAS
分类号 F27D11/02;F27D99/00;F27B5/14;H01L21/324 主分类号 F27D11/02
代理机构 代理人
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