| 发明名称 |
Verfahren zum Herstellen von Kontaktlöchern für einen Kondensator einer Halbleitervorrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10227344(B4) |
申请公布日期 |
2011.06.16 |
| 申请号 |
DE20021027344 |
申请日期 |
2002.06.19 |
| 申请人 |
HYNIX SEMICONDUCTOR INC. |
发明人 |
KIM, DONG HYUN;CHOI, BONG HO;CHO, YONG-TAE |
| 分类号 |
H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/02;H01L21/28;H01L21/311;H01L21/768;H01L21/8242;H01L23/522;H01L27/108 |
主分类号 |
H01L21/3065 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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