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发明名称 COLLECTOR FOR EUV LIGHT SOURCE
摘要
申请公布号 KR101042177(B1) 申请公布日期 2011.06.16
申请号 KR20057018039 申请日期 2004.04.07
申请人 发明人
分类号 H01S3/10;G02B5/00;G03F7/20;G21C11/00;G21K1/06;H01J1/50 主分类号 H01S3/10
代理机构 代理人
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