ELECTROMECHANICAL MICROSWITCH FOR SWITCHING AN ELECTRICAL SIGNAL, MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM, INTEGRATED CIRCUIT, AND METHOD FOR PRODUCING AN INTEGRATED CIRCUIT

摘要

Die Erfindung betrifft ein mikroelektromechanisches System (MEMS) (100, 200) mit einem elektromechanischen Mikroschalter (1) zur Schaltung eines elektrischen Signals (S), insbesondere eines Radiofrequenz-Signals (RFMEMS), insbesondere im GHz-Bereich. Dieses weist erfindungsgemäß auf: einen auf einem Substrat (101, 201) angeordneten Mehrebenen-Leitbahnschichtstapel (102, 202), dessen Leiterbahnen (111-115, 211-215) in verschiedenen Leitungsebenen (M1-M5) mit elektrisch isolierende Schichten (103, 203) gegeneinander isoliert und über Via-Kontakte (104, 204) elektrisch miteinander verbunden sind, den in einer Ausnehmung (105, 205) des Mehrebenen-Leitbahnschichtstapels (102, 202) integrierten elektromechanischen Schalter (1) mit einer Kontaktschwinge (10), einem Gegenkontakt (20) und wenigstens einer Antriebselektrode (30, 50) für die Kontaktschwinge (10), wobei die Kontaktschwinge (10), der Gegenkontakt (20) und die wenigstens eine Antriebselektrode (30, 50) jeweils Teil einer Leitungsebene (M1-M5) des Mehrebenen-Leitbahnschichtstapels (102, 202) ist.