紫外线受光元件和紫外线量的测定方法

摘要

本发明提供对于紫外线具有选择性灵敏度的新型紫外线受光元件以及使用该紫外线受光元件的紫外线量的测定方法。在石英玻璃、蓝宝石等基板上形成由氟化铈、氟化锂、氟化镁、氟化钙等金属氟化物薄膜构成的紫外线检测层，进一步在该紫外线检测层上形成至少一对阳极和阴极，从而形成紫外线受光元件。由于该紫外线受光元件的电阻率根据入射的紫外线量而变化，因此将该变化以电信号的形式输出和测定，从而可以测定紫外线量。

主权项

一种紫外线受光元件，其特征在于，具有：基板、以及形成在该基板上的由金属氟化物薄膜构成的紫外线检测层、以及形成在该紫外线检测层上的至少一对阳极和阴极。