发明名称 |
用于压气机叶轮、叶片的ZrN/TiMo复合涂层及制备方法 |
摘要 |
一种用于压气机叶轮、叶片的ZrN/TiMo复合涂层及制备方法,其中用于压气机叶轮、叶片的ZrN/TiMo复合涂层由TiMo粘结层和TiAlN面层组成;该制备方法采用H-MFD200型高真空多功能薄膜沉积系统,在金属表面镀制ZrN/TiMo复合涂层。本发明的制备工艺包括:粘结层TiMo的制备,采用磁控溅射制备工艺;和ZrN面层的制备,采用多弧离子镀制备工艺。该方法制备的涂层致密,与基体结合力良好,涂层厚度可控制,在600℃高温下,具有良好的抗热循环能力、抗热盐腐蚀能力和抗冲刷磨损的能力。 |
申请公布号 |
CN102092159A |
申请公布日期 |
2011.06.15 |
申请号 |
CN200910220780.X |
申请日期 |
2009.12.15 |
申请人 |
沈阳天贺新材料开发有限公司 |
发明人 |
高淑春;胡金玲;杨升山;王晓光 |
分类号 |
B32B15/04(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/22(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I |
主分类号 |
B32B15/04(2006.01)I |
代理机构 |
沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 |
代理人 |
韩辉 |
主权项 |
一种用于压气机叶轮、叶片的ZrN/TiMo复合涂层,其特征在于由TiMo粘结层和TiAlN面层组成。 |
地址 |
110168 辽宁省沈阳市浑南新区文溯街16号 |