发明名称 用于压气机叶轮、叶片的ZrN/TiMo复合涂层及制备方法
摘要 一种用于压气机叶轮、叶片的ZrN/TiMo复合涂层及制备方法,其中用于压气机叶轮、叶片的ZrN/TiMo复合涂层由TiMo粘结层和TiAlN面层组成;该制备方法采用H-MFD200型高真空多功能薄膜沉积系统,在金属表面镀制ZrN/TiMo复合涂层。本发明的制备工艺包括:粘结层TiMo的制备,采用磁控溅射制备工艺;和ZrN面层的制备,采用多弧离子镀制备工艺。该方法制备的涂层致密,与基体结合力良好,涂层厚度可控制,在600℃高温下,具有良好的抗热循环能力、抗热盐腐蚀能力和抗冲刷磨损的能力。
申请公布号 CN102092159A 申请公布日期 2011.06.15
申请号 CN200910220780.X 申请日期 2009.12.15
申请人 沈阳天贺新材料开发有限公司 发明人 高淑春;胡金玲;杨升山;王晓光
分类号 B32B15/04(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/22(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I 主分类号 B32B15/04(2006.01)I
代理机构 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 代理人 韩辉
主权项 一种用于压气机叶轮、叶片的ZrN/TiMo复合涂层,其特征在于由TiMo粘结层和TiAlN面层组成。
地址 110168 辽宁省沈阳市浑南新区文溯街16号