发明名称 |
一种太阳能硅片切割液 |
摘要 |
本发明公开了一种太阳能硅片切割液,其含有聚乙二醇,分散剂,表面活性剂,消泡剂和鳌合剂。本发明的太阳能硅片切割液能提高碳化硅的分散性和再分散性,确保了浆料的稳定性和持久性;可实现100%使用回收碳化硅,大大降低了成本;可降低切片的表面损伤,机械应力,热应力及金属离子对硅片的污染,有利于硅片后道清洗,提高了后端太阳能电池的转化效率;能有效地改善硅片的厚度误差,提高切割良率。 |
申请公布号 |
CN102093925A |
申请公布日期 |
2011.06.15 |
申请号 |
CN200910200314.5 |
申请日期 |
2009.12.11 |
申请人 |
安集微电子(上海)有限公司 |
发明人 |
于昊;宫勇;兰育辉 |
分类号 |
C10M169/04(2006.01)I;C10M107/32(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)N |
主分类号 |
C10M169/04(2006.01)I |
代理机构 |
上海翰鸿律师事务所 31246 |
代理人 |
李佳铭 |
主权项 |
一种太阳能硅片切割液,含有聚乙二醇组分,分散剂,表面活性剂,消泡剂和鳌合剂。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室 |