发明名称 一种硅片垒片夹具
摘要 本实用新型属于太阳能电池片制作过程中工装夹具设计领域,具体涉及一种硅片垒片夹具,应用于电池片制造中的等离子刻蚀工序,包括互相垂直的两块平板以及支撑架,能快速整齐的叠放硅片,对电池生产过程中硅片之间的摩擦减小、等离子刻蚀中防止产生白边、缩短垒片时间、减少垒片碎片有很好的效果,有效的提高了工作效率。
申请公布号 CN201868463U 申请公布日期 2011.06.15
申请号 CN201020568564.2 申请日期 2010.10.20
申请人 山东力诺太阳能电力股份有限公司 发明人 李钢;武明;高成明;刘斌贤
分类号 H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 济南舜源专利事务所有限公司 37205 代理人 宋玉霞
主权项 一种硅片垒片夹具,其特征在于,包括互相垂直的两块平板以及支撑架。
地址 250103 山东省济南市历城区经十东路30766号力诺科技园