激光加工设备

摘要

一种有利于加工位置和成形方面的精度的激光加工设备。该激光加工设备包括设置在从激光振荡器输出的激光束的基光轴上的光轴调节单元，用于将从激光振荡器输出的激光束调节到工件上。所述激光加工设备还包括以下装置：反射镜，其设置在激光振荡器和光轴调节单元之间，用于任意偏转激光束的光轴；以及光轴位置检测装置，其设置在光轴调节单元和光轴偏转装置之间，用于检测激光束的光轴位置。该设备根据光轴位置检测装置检测的结果，利用反射镜使入射到光轴调节单元上的激光束的光轴与基光轴对准。

主权项

一种激光加工设备，包括设置在从激光振荡器输出的激光束的预定光轴上的光轴调节单元，用于将从所述激光振荡器输出的所述激光束调节到工件上，所述激光加工设备还包括以下装置：光轴偏转装置，其设置在所述激光振荡器和所述光轴调节单元之间，用于任意偏转所述激光束的光轴；以及光轴位置检测装置，其设置在所述光轴调节单元和所述光轴偏转装置之间，用于检测所述激光束的光轴位置，其中，所述光轴偏转装置由两个能够绕其轴转动的反射镜组成；所述反射镜的轴分别被设置为垂直于包括入射到该反射镜和从其反射的所述预定光轴的平面，并且所述两个反射镜的轴彼此相交，并且，所述反射镜的轴在入射到所述反射镜或从其反射的所述预定光轴的方向上能够移动；以及所述光轴偏转装置根据由所述光轴位置检测装置检测的结果，通过在从所述反射镜反射的激光的预定光轴的方向上移动每个所述反射镜和/或围绕在垂直于入射到该反射镜和从其反射的激光的光轴的每个轴旋转每个所述反射镜，将入射到所述光轴调节单元上的所述激光束的光轴与所述预定光轴对准。