一种在玻璃材料中制作微通道的方法及装置

摘要

本发明公开了一种在玻璃材料中制作微通道的方法及装置，方法为：①将待刻写的待加工玻璃材料置于超声波环境中，并使玻璃下表面浸没在洁净的水中，玻璃上表面裸露在空气中；②将由纳秒激光器发出的激光通过聚焦镜聚焦，聚焦的纳秒激光脉冲垂直待刻写的待加工玻璃材料的上表面入射，纳秒激光脉冲的焦点位于待加工玻璃材料下表面；③按预先设定的扫描路径从底往上移动由纳秒激光器发出的激光束，直至在玻璃内部直写出三维微通道。该装置包括三维平台、超声波清洗机、支架和聚集镜。工作时，超声波清洗机固定在三维平台上；待加工玻璃材料通过支架放置于超声波清洗机腔体内，聚集镜固定在三维平台的垂直轴上。本发明克服了现有技术存在的生产效率低、成本高和深宽比受限等缺点。

主权项

一种在玻璃材料中制作微通道的方法，其特征在于，该方法包括下述步骤：①将待刻写的待加工玻璃材料置于超声波环境中，并使玻璃下表面浸没在洁净的水中，玻璃上表面裸露在空气中；②将由纳秒激光器发出的激光通过数值孔径NA为0.25～0.7的聚焦镜聚焦，聚焦的纳秒激光脉冲垂直待刻写的待加工玻璃材料的上表面入射，纳秒激光脉冲的焦点位于待加工玻璃材料下表面；③按预先设定的扫描路径从底往上移动由纳秒激光器发出的激光束，直至在玻璃内部直写出三维微通道；所述的纳秒激光的参数为：脉宽5～30ns，波长355～1064nm，脉冲频率1～100KHz，脉冲能量1～10mJ。