低成本且高性能的太阳能电池制造机构

摘要

本发明公开了一种高性能及成本效益的太阳能电池制造机构，其包含以下组件：真空腔体、箱载体以及电极。此箱载体不同于旧型的箱载体，在于基板将被垂直地涂布薄膜。与水平薄膜涂布相较，可发现其没有被膜涂布的区域较少。这些区域包含轮子上方及上支撑物下方的区域。当浪费的区域减少，太阳能电池将更有效益。此电极是称为孔洞状电极的新式设计，其具有一个信号极连接到腔体之前缘。当与VHF一起使用时，太阳能电池会有高性能。

主权项

一种与VHF产生器作用的太阳能电池制造机构，包含真空腔体、箱载体以及电极，其特征在于，基板上非晶硅膜及微晶硅膜的涂布是垂直地进行，所述电极是孔洞状电极，所述孔洞状电极与VHF产生器发生合力作用，并且，在电极前缘中央内安装信号极。