| 发明名称 | 一种增强ZnO薄膜电抽运随机激射的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种增强ZnO薄膜电抽运随机激射的方法，包括：将ZnO薄膜附着在衬底上，900～1100℃下加热1～5分钟。本发明还公开了一种硅基ZnO薄膜的电抽运随机激射器件的制作方法，包括：在硅衬底正面生长ZnO薄膜，900～1100℃下加热1～5分钟后利用溶胶-凝胶法在ZnO薄膜上制备SiO2薄膜，在硅衬底背面和SiO2薄膜上溅射Au电极。本发明方法将ZnO薄膜加热处理，电抽运随机激射的强度显著加强，而且可操作性比较强。 | ||
| 申请公布号 | CN102097550A | 申请公布日期 | 2011.06.15 |
| 申请号 | CN201110006590.5 | 申请日期 | 2011.01.13 |
| 申请人 | 浙江大学 | 发明人 | 马向阳;田野;杨德仁 |
| 分类号 | H01L33/00(2010.01)I;H01L33/28(2010.01)I;H01L33/40(2010.01)I | 主分类号 | H01L33/00(2010.01)I |
| 代理机构 | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人 | 胡红娟 |
| 主权项 | 一种增强ZnO薄膜电抽运随机激射的方法，包括：将ZnO薄膜附着在衬底上，900～1100℃下加热1～5分钟。 | ||
| 地址 | 310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号 | ||