气体控温的静电卡盘及其控制基片温度的方法

摘要

本发明公开了一种气体控温的静电卡盘及其控制基片温度的方法，该静电卡盘设有多个上下相通的通孔，多个通孔中至少一个通孔的下端连接有供气通道；一个通孔的下端连接有回气通道。供气通道连接有气体温度控制装置。工艺过程中，可以通过供气通道通入需要温度的气体，并由回气通道流回，在静电卡盘与基片之间形成循环，直接对基片的温度进行控制。控温速度快、能量损失小。

主权项

一种气体控温的静电卡盘，其特征在于，该静电卡盘设有多个上下相通的通孔，所述多个通孔中至少一个通孔的下端连接有供气通道；至少一个通孔的下端连接有回气通道；所述的供气通道连接有气体温度控制装置，气体温度控制装置用于对气体的温度进行控制，使气体达到需要的温度，所述的回气通道与所述气体温度控制装置连接，所述供气通道与回气通道形成一个循环回路。