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发明名称 CHEMICAL MECHANICAL POLISHER HAVING MOVABLE SLURRY DISPENSERS AND METHOD
摘要
申请公布号 KR20110065464(A) 申请公布日期 2011.06.15
申请号 KR20117005938 申请日期 2009.08.14
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 WANG YULIN;YILMAZ ALPAY
分类号 H01L21/304;B24B37/04 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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