基于谐振频率法的MEMS薄膜泊松比在线测量方法

摘要

本发明公开了一种基于谐振频率法的MEMS薄膜泊松比在线测量方法，其步骤是：制作一个圆环形MEMS薄膜作为测试结构，其内边界固支在锚区上、外边界自由；锚区固定在衬底上；测量出圆环形MEMS薄膜的径向振动和横向振动的谐振频率，然后用径向振动和横向振动的谐振频率计算MEMS薄膜泊松比。本发明方法，无需预先知道薄膜杨氏模量及材料密度等的具体值，避免了因杨氏模量及材料密度等引起的误差，有利于精度的提高。由于圆环薄膜结构的对称性，锚区更接近理想固支。属于非接触式测量，测量过程不会对测试结构产生影响，可以保证测量的重复性。对于导体和非导体本方法均适用。测试结构制作简单。

主权项

1.基于谐振频率法的MEMS薄膜泊松比在线测量方法，其步骤是：制作一个圆环形MEMS薄膜作为测试结构，其内边界固支在锚区上、外边界自由；锚区固定在衬底上；测量出圆环形MEMS薄膜的径向振动和横向振动的谐振频率，然后用下式计算MEMS薄膜泊松比：且a＝2b其中：a是圆环形MEMS薄膜的外半径；b是圆环形MEMS薄膜的内半径；h是圆环形MEMS薄膜的厚度；f₁是径向振动谐振频率；f₂是横向振动谐振频率；v是MEMS薄膜泊松比；所述横向振动是垂直MEMS薄膜面的振动。