发明名称 |
蒸汽冷凝水回收利用方法以及装置 |
摘要 |
本发明提供一种蒸汽冷凝水回收利用方法及装置。本发明的特点在于,在超纯水预处理系统原水水温低于超纯水预处理系统对原水的温度要求时,利用蒸汽冷凝水与原水混合,使原水的水温上升,混合后的水通过砂滤后通过热交换系统使水温达到超纯水预处理的水温及水质要求,从而降低了超纯水预处理系统原水加热成本不仅可以减少市政蒸汽的使用量,并且节约了超纯水预处理的原水消耗量,同时也解决了蒸汽冷凝水的处理问题。本发明方法循环利用废水余热既减少生产废水的产生量,又节约自来水资源,而且更重要的是减少市政蒸汽的使用,节能又环保。 |
申请公布号 |
CN102092882A |
申请公布日期 |
2011.06.15 |
申请号 |
CN200910200260.2 |
申请日期 |
2009.12.10 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
陈玉峰;周金锋;徐雪峰;张靖华 |
分类号 |
C02F9/10(2006.01)I;C02F1/02(2006.01)N |
主分类号 |
C02F9/10(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种蒸汽冷凝水回收利用方法,包括以下步骤:(1)将蒸汽冷凝水与原水混合,进行热交换,实现原水的温度升高;(2)将混合后的水通过过滤装置进行过滤保证水质;(3)将过滤后的水通过第二道热交换系统进行加热,达到超纯水系统设定温度22摄氏度后通入超纯水预处理系统中。 |
地址 |
201203 上海市张江路18号 |