激光加工装置

摘要

本发明提供激光加工装置，其能有效地收集并排出从聚光器向被加工物照射激光光线而生成的碎屑等粉尘。该激光加工装置的激光光线照射构件具备：激光光线振荡器、具有使激光光线聚光的聚光透镜的聚光器；和配设于聚光器的靠激光光线照射方向下游侧的端部的粉尘排出构件，粉尘排出构件具备集尘器，该集尘器由上游侧壁、下游侧壁和外侧壁构成，上游侧壁具有容许从聚光器照射的激光光线通过并获取空气的第一开口，下游侧壁具有容许通过第一开口照射的激光光线通过并且抽吸粉尘的第二开口，外侧壁连接上游侧壁和下游侧壁并形成集尘室，且外侧壁具备将集尘室与抽吸源连通的排气口，在集尘器与聚光器之间设有将第一开口与外部气体连通的外部气体获取通道。

主权项

一种激光加工装置，该激光加工装置具备：卡盘工作台，所述卡盘工作台用于保持被加工物；以及激光光线照射构件，所述激光光线照射构件向保持于该卡盘工作台的被加工物照射激光光线，所述激光光线照射构件具备：激光光线振荡器，所述激光光线振荡器用于振荡出激光光线；聚光器，所述聚光器具有聚光透镜，该聚光透镜用于使从所述激光光线振荡器振荡出的激光光线会聚；以及粉尘排出构件，所述粉尘排出构件配设于所述聚光器的靠激光光线照射方向下游侧的端部，该激光加工装置的特征在于，所述粉尘排出构件具备集尘器，所述集尘器具有：上游侧壁，所述上游侧壁具有第一开口，该第一开口容许从所述聚光器照射的激光光线通过并且用于获取空气；下游侧壁，所述下游侧壁具有第二开口，该第二开口容许通过所述第一开口照射的激光光线通过并且用于抽吸粉尘；以及外侧壁，所述外侧壁连接所述上游侧壁和下游侧壁并形成集尘室，并且该外侧壁具备将集尘室与抽吸源连通的排气口，在所述集尘器与所述聚光器之间设有将所述第一开口与外部气体连通的外部气体获取通道。