一种含有鲨齿式触点系统的射频MEMS开关

摘要

本发明公开了一种含有鲨齿式触点系统的射频MEMS开关，包括驱动电极、鲨齿式触点系统、悬臂梁、共面波导信号线、固定锚区和衬底，所述驱动电极、共面波导信号线固定在衬底上，悬臂梁的固定端通过固定锚区固定在共面波导信号线上，驱动电极位于悬臂梁的下方；所述鲨齿式触点系统位于悬臂梁自由端的下方，或者所述射频MEMS开关导通时与于悬臂梁自由端接触的传输线的上方，所述鲨齿式触点系统为两组以上触点，所述每组触点之间存在高度差。本发明提供的射频MEMS开关，有效地改善了触点因多次接触击打引起的可靠性问题，使开关的寿命得到较大的提高。

主权项

一种含有鲨齿式触点系统的射频MEMS开关，包括驱动电极(1)、悬臂梁(3)、共面波导信号线(4)、固定锚区(6)和衬底(7)，所述驱动电极(1)、共面波导信号线(4)固定在衬底(7)上，悬臂梁(3)的固定端通过固定锚区(6)固定在共面波导信号线(4)上，驱动电极(1)位于悬臂梁(3)的下方，其特征在于：所述射频MEMS开关还包括鲨齿式触点系统(2)，所述鲨齿式触点系统(2)位于悬臂梁(3)自由端的下方，或者所述射频MEMS开关导通时与于悬臂梁(3)自由端接触的传输线的上方，所述鲨齿式触点系统(2)为两组以上触点，所述每组触点之间存在高度差。