改良第三族氮化物基发光装置内部量子效率的方法与装置

摘要

本发明公开一种改良第三族氮化物基发光装置内部量子效率的方法，其步骤包含提供具有单晶结构的第三族氮化物基基板，在第三族氮化物基基板上形成具有复数个不吸收可见光的粒子氧化层，其中粒子的大小、形状与密度由反应温度、反应时间及反应浓度所控制，以及在氧化层上生成第三族氮化物基层。其中氧化层具阻挡第三族氮化物基基板的线差排传播到第三族氮化物基层，借以改良第三族氮化物基发光装置的内部量子效率。本发明还公开一种改良第三族氮化物基发光装置内部量子效率的装置。

主权项

一种改良第三族氮化物基发光装置内部量子效率的方法，其特征在于其包括以下步骤：提供具有单晶结构的第三族氮化物基基板；在第三族氮化物基基板上形成氧化层，具有复数个不吸收可见光的粒子，其中粒子的大小、形状与密度由反应温度、反应时间及反应浓度所控制；以及在氧化层上生成第三族氮化物基层；其中氧化层具阻挡第三族氮化物基基板的线差排传播到第三族氮化物基层，借以改良第三族氮化物基发光装置的内部量子效率。