N型超结横向双扩散金属氧化物半导体管

摘要

一种N型超结横向双扩散金属氧化物半导体晶体管，包括：P型衬底，在P型衬底上设有超结结构及P型体区，超结结构由N型外延层和镶嵌在其中的P型半导体区构成，在P型体区上设有N型源区、P型体接触区及栅氧化层，超结结构上设有N型漏区，超结结构上方且位于N型漏区以外的区域设有第一型场氧化层，栅氧化层上方设有多晶硅栅且多晶硅栅自栅氧化层上方延伸至第一型场氧化层上方，N型源区、P型体接触区、N型漏区、多晶硅栅和第一型场氧化层上方设有第二型场氧化层，N型源区、N型漏区、P型体接触区及多晶硅栅均接有源极金属引线、栅极金属引线和漏极金属引线，且超结结构中的P型半导体区的深度沿从N型源区到N型漏区的方向上线性变小。

主权项

一种N型超结横向双扩散金属氧化物半导体晶体管，包括：P型衬底(1)，在P型衬底(1)上设有超结结构及P型体区(2)，超结结构由N型外延层(11)和镶嵌在N型外延层(11)中的P型半导体区(12)构成，在P型体区(2)上方设有N型源区(4)、P型体接触区(5)及栅氧化层(3)，在超结结构的上方设有N型漏区(14)，在超结结构上方，且位于N型漏区(14)以外的区域设有第一型场氧化层(10)，在栅氧化层(3)上方设有多晶硅栅(6)且多晶硅栅(6)自栅氧化层(3)上方延伸至第一型场氧化层(10)上方，在N型源区(4)、P型体接触区(5)、N型漏区(14)、多晶硅栅(6)和第一型场氧化层(10)上方设有第二型场氧化层(8)，N型源区(4)、N型漏区(14)、及多晶硅栅(6)均接有穿通第二型场氧化层(8)的源极金属引线(7)、漏极金属引线(13)和栅极金属引线(9)，其特征在于，超结结构中的P型半导体区(12)的深度沿从N型源区(4)指向N型漏区(14)的方向上线性变小。