一种球痕式镀层测厚仪

摘要

本发明公开了一种球痕式镀层测厚仪，其结构包括磨球、旋转臂、马达、检测台、仪器架；所述旋转臂、马达、检测台设置在仪器架上，所述磨球置放在旋转臂与检测台之间并压在检测台表面；所述马达与旋转臂机械传动连接；由马达通过旋转臂梯形槽摩擦带动磨球在样品表面压磨，然后通过磨痕图形数据测算镀层厚度。本发明具有操作简单方便、测量周期短、速度快、制样简便、设备体积小、成本低的优点，特别适合于对精度要求不太高的镀层厚度进行快速测量。

主权项

一种球痕式镀层测厚仪，其特征在于：包括磨球、旋转臂、马达、检测台、仪器架；所述旋转臂、马达、检测台设置在仪器架上，所述磨球置放在旋转臂与检测台之间并压在检测台表面；所述马达与旋转臂机械传动连接。