发明名称 |
多晶硅制绒槽 |
摘要 |
本实用新型公开了一种多晶硅制绒槽,包括:反应槽(2)、外槽(1)、安装在所述反应槽(2)上的进液管路、和安装于所述外槽(1)上的溢流管路,所述反应槽(2)部分置于所述外槽(1)中,所述进液管路上设有调节阀,可对反应槽(2)进液量进行控制,并通过在外槽(1)上设置液位传感器,使外槽(1)的溢流量可根据外槽(1)的进液量的大小自行进行相应的调节。 |
申请公布号 |
CN201864794U |
申请公布日期 |
2011.06.15 |
申请号 |
CN201020629838.4 |
申请日期 |
2010.11.23 |
申请人 |
北京七星华创电子股份有限公司 |
发明人 |
于皓洁;张琳 |
分类号 |
C30B33/10(2006.01)I |
主分类号 |
C30B33/10(2006.01)I |
代理机构 |
北京路浩知识产权代理有限公司 11002 |
代理人 |
王莹 |
主权项 |
一种多晶硅制绒槽,包括:反应槽(2)、外槽(1)、安装在所述反应槽(2)上的进液管路、以及安装于所述外槽(1)上的溢流管路,所述反应槽(2)部分置于所述外槽(1)中,其特征在于,所述进液管路上设有调节阀。 |
地址 |
100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层 |