发明名称 多晶硅制绒槽
摘要 本实用新型公开了一种多晶硅制绒槽,包括:反应槽(2)、外槽(1)、安装在所述反应槽(2)上的进液管路、和安装于所述外槽(1)上的溢流管路,所述反应槽(2)部分置于所述外槽(1)中,所述进液管路上设有调节阀,可对反应槽(2)进液量进行控制,并通过在外槽(1)上设置液位传感器,使外槽(1)的溢流量可根据外槽(1)的进液量的大小自行进行相应的调节。
申请公布号 CN201864794U 申请公布日期 2011.06.15
申请号 CN201020629838.4 申请日期 2010.11.23
申请人 北京七星华创电子股份有限公司 发明人 于皓洁;张琳
分类号 C30B33/10(2006.01)I 主分类号 C30B33/10(2006.01)I
代理机构 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人 王莹
主权项 一种多晶硅制绒槽,包括:反应槽(2)、外槽(1)、安装在所述反应槽(2)上的进液管路、以及安装于所述外槽(1)上的溢流管路,所述反应槽(2)部分置于所述外槽(1)中,其特征在于,所述进液管路上设有调节阀。
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