多晶硅还原炉自动调功装置

摘要

本发明公开一种多晶硅还原炉自动调功装置，包括硅芯预加热装置、硅芯恒温加热装置及它们的控制器，所述硅芯预加热装置具有顺序联结的电源开关、饱和电抗器、升压变压器、倒极开关，硅芯预加热装置通过其倒极开关连接硅芯；所述硅芯恒温加热装置具有顺序联结的电源开关、隔离变压器、可控硅调压器、隔离开关，硅芯恒温加热装置通过其隔离开关连接硅芯；控制器具有饱和电抗器控制模块，用于控制升压变压器的原边电压；开关自动切换控制模块，用于：a.控制预加热装置、恒温加热装置的切换；b.控制硅芯击穿顺序；c.控制倒极开关在升压变压器副边的分接位置，从而控制硅芯预加热电流；可控硅调压器控制模块，用于控制可控硅的导通角，从而控制硅芯恒温加热的电流，调压器采用拼波调压。

主权项

一种多晶硅还原炉自动调功装置，包括硅芯预加热装置、硅芯恒温加热装置及它们的控制器，所述硅芯预加热装置具有顺序联结的电源开关、饱和电抗器、升压变压器、倒极开关，硅芯预加热装置通过其倒极开关连接硅芯；所述硅芯恒温加热装置具有顺序联结的电源开关、隔离变压器、可控硅调压器、隔离开关，硅芯恒温加热装置通过其隔离开关连接硅芯；所述控制器具有预加热控制单元和恒温加热控制单元，分别对硅芯预加热过程、硅芯恒温加热过程进行控制，其特征在于：所述控制器具有硅芯预加热、恒温加热自动切换控制模块，当预加热过程结束时，自动关闭硅芯预加热装置，开启硅芯恒温加热装置；所述控制器由信号检测装置和中央处理器组合构成；所述信号检测装置包括预加热装置的升压变压器原边电压检测装置、升压变压器原边电流检测装置、硅芯电流检测装置，恒温加热装置的硅芯电压检测装置、硅芯电流检测装置；所述中央处理器具有：数据采集模块，用于采集来自信号检测装置的数据；存储模块，用于存储检测数据、控制参数给定值及控制信号；信号处理模块，用于将检测信号数据与控制参数给定值进行比较运算，向各受控对象输出控制信号；饱和电抗器控制模块，用于控制饱和电抗器的电抗值，从而控制升压变压器的原边电压；开关自动切换控制模块，用于：a.控制预加热装置、恒温加热装置的切换，当预加热过程结束时，自动切断预加热装置的所有开关，闭合恒温加热装置的开关；b.控制短对开关的启、闭顺序，从而控制硅芯击穿顺序；c.控制倒极开关在升压变压器副边的分接位置，从而控制硅芯预加热电流；可控硅调压器控制模块，用于控制可控硅的导通角，从而控制硅芯恒温加热的电流。