形成具有排热结构的垂直结构发光二极管的方法

摘要

本发明揭露一种形成具有排热结构的垂直结构发光二极管(LED)的方法，包括以下步骤：a)提供蓝宝石基板；b)在蓝宝石基板上沉积多个凸部，其高度为p；c)形成具有多个凹部的缓冲层，凹部的深度q小于p，以致当凸部容纳于缓冲层的凹部时，在其间形成多个间隙；d)在缓冲层上生长多个发光层，具有形成于发光层和缓冲层间的介质层；e)蚀刻穿透发光层和缓冲层来形成排热用的通道；f)通过准分子激光剥离(LLO)来移除蓝宝石基板和凸部；g)粗化介质层；以及h)在粗化的介质层上沉积电极。

主权项

一种形成具有排热结构的垂直结构发光二极管(LED)的方法，其特征在于，包括以下步骤：a)提供蓝宝石基板；b)在蓝宝石基板上沉积复数个凸部，其高度为p；c)形成具有复数个凹部的缓冲层，所述凹部的深度q小于p，以致当凸部容纳于缓冲层的凹部时，在其间形成复数个间隙，以利排热；d)在缓冲层上生长复数个发光层，具有形成于复数个发光层和缓冲层间的介质层；e)蚀刻穿透复数个发光层和缓冲层来形成通道，以利排热；f)通过准分子激光剥离来移除蓝宝石基板和凸部；g)粗化介质层；以及h)在粗化的介质层上沉积电极。