外观检查装置

摘要

本发明提供外观检查装置，外观检查装置具有对晶片的周缘部进行照明的上部照明、下部照明、侧部照明、一对斜照明、一对棒照明，明亮地对晶片的周缘部进行照明。在上部照明中形成有间隙，通过该间隙来投射反射照明部的照明光。反射照明部的照明光由第1反射镜折回，对晶片的周缘部进行照明。根据需要使第2反射镜共同工作，由此改变照明位置。周缘部的像利用与反射照明部同轴配置的摄像部来取得。

主权项

一种外观检查装置，其特征在于，该外观检查装置具有：周缘观察装置，其对支承在支承部上的工件的周缘部进行观察；和周缘照明装置，其对基于所述周缘观察装置的观察位置进行照明，所述周缘照明装置具有对位于观察位置的所述工件的周缘部进行照明的多个面光源，所述周缘观察装置具有配置在被所述面光源包围的空间内的光学部件，这些面光源以包围所述工件的周缘部的方式分别配置在位于观察位置的所述工件的周缘部的上方、下方和侧方。