发明名称 切削装置
摘要 本发明提供一种切削装置,其能够实现切削液的稳定抽吸、且不会引起被加工物的器件不良。切削装置具备:抽吸口,其配设在供给至切削刀具的切削液随切削刀具的旋转而飞散的一侧;流入通道,其与抽吸口连接;流体分离机构主体,其具有第一开口部、第二开口部、和第三开口部,第三开口部形成于与第一开口部相同的高度或形成于比第一开口部要低的位置,用于将切削液排出;抽吸源,其与上述第二开口部连接;和排出通道,其一端与第三开口部连接,在其另一端具有形成于与第一开口部相同的高度或形成于比第一开口部要低的位置的排出口,排出通道使流体分离机构主体内的液体排出,排出通道具有使排出口始终充满液体从而防止外部气体流入的液体蓄积部。
申请公布号 CN102097373A 申请公布日期 2011.06.15
申请号 CN201010552104.5 申请日期 2010.11.17
申请人 株式会社迪思科 发明人 迈克尔·威廉姆·加德
分类号 H01L21/78(2006.01)I;B28D5/00(2006.01)I 主分类号 H01L21/78(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 陈坚
主权项 一种切削装置,该切削装置具备:卡盘工作台,该卡盘工作台保持被加工物;切削构件,该切削构件包括切削刀具和主轴,所述切削刀具用于对保持于所述卡盘工作台的被加工物进行切削,所述主轴使所述切削刀具旋转;以及切削液供给构件,该切削液供给构件对所述切削刀具供给切削液,所述切削装置的特征在于,所述切削装置具备:抽吸口,该抽吸口配设在被供给至所述切削刀具的所述切削液随着该切削刀具的旋转而飞散的一侧;流入通道,该流入通道的一端与所述抽吸口连接,经由所述抽吸口抽吸来的所述切削液在该流入通道内流动;流体分离机构主体,该流体分离机构主体具有第一开口部、第二开口部和第三开口部,所述第一开口部与所述流入通道的另一端连接,所述第二开口部开口于比所述第一开口部靠上方的位置,所述第三开口部形成于比所述第二开口部低的位置,且形成于与所述第一开口部相同高度的位置或比所述第一开口部低的位置,所述第三开口部用于将经由所述第一开口部流入的所述切削液排出;抽吸源,该抽吸源与所述流体分离机构主体的所述第二开口部连接;以及排出通道,该排出通道的一端与所述第三开口部连接,在该排出通道的另一端具有排出口,该排出口形成于与所述第一开口部相同高度的位置或比所述第一开口部低的位置,该排出通道用于使所述流体分离机构主体内的所述切削液排出,所述排出通道具有液体蓄积部,该液体蓄积部使所述排出口始终充满液体从而防止外部气体的流入。
地址 日本东京都