发明名称 | 电子枪蒸发用坩埚 | ||
摘要 | 电子枪蒸发用坩埚,包括坩埚(1)和坩埚(3),坩埚(1)设在坩埚(3)的上面,之间为间隙配合,其特征在于:所述的坩埚(1)和坩埚(3)中间放置有镀膜材料(2)。本实用新型,电子枪在工作时,电子束不直接作用于蒸发材料,而靠石墨底座进行传导加热,实现较低蒸发温度材料的蒸发。保证材料本身的性能。 | ||
申请公布号 | CN201864770U | 申请公布日期 | 2011.06.15 |
申请号 | CN201020617898.4 | 申请日期 | 2010.11.22 |
申请人 | 江苏淘镜有限公司 | 发明人 | 刘锋;赵志刚 |
分类号 | C23C14/30(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/30(2006.01)I |
代理机构 | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人 | 汪旭东 |
主权项 | 电子枪蒸发用坩埚,包括坩埚(1)和坩埚(3),坩埚(1)设在坩埚(3)的上面,之间为间隙配合,其特征在于:所述的坩埚(1)和坩埚(3)中间放置有镀膜材料(2)。 | ||
地址 | 212331 江苏省镇江市丹阳市司徒镇美乐路8号 |