| 发明名称 | 基于热损失工作方式的矩形铂金薄膜二维风速风向传感器 | ||
| 摘要 | 基于热损失工作方式的矩形铂金薄膜二维风速风向传感器的最下层是半导体硅衬底(101)，在硅衬底(101)上制作发热电阻(102)，在具有发热电阻(102)的硅衬底(101)之上是二氧化硅绝缘层(103)，二氧化硅绝缘层(103)之上采用矩形的铂金薄膜(104)作为传感面，铂金电极(105)位于矩形的铂金薄膜(104)外；由发热电阻产生的热量形成矩形的铂金薄膜电阻率的初始分布，流动的空气移动了热量并导致矩形的铂金薄膜电阻率分布发生变化，利用热分布变化引起铂金薄膜电阻率分布变化的原理测量风速和风向。 | ||
| 申请公布号 | CN201867422U | 申请公布日期 | 2011.06.15 |
| 申请号 | CN201020554728.6 | 申请日期 | 2010.09.29 |
| 申请人 | 东南大学 | 发明人 | 李伟华 |
| 分类号 | G01P5/12(2006.01)I;G01P13/02(2006.01)I | 主分类号 | G01P5/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人 | 柏尚春 |
| 主权项 | 一种基于热损失工作方式的矩形铂金薄膜二维风速风向传感器，其特征在于该传感器的最下层是半导体硅衬底(101)，在硅衬底(101)上制作发热电阻(102)，在具有发热电阻(102)的硅衬底(101)之上是二氧化硅绝缘层(103)，二氧化硅绝缘层(103)之上采用矩形的铂金薄膜(104)作为传感面，铂金电极(105)位于矩形的铂金薄膜(104)外。 | ||
| 地址 | 210096 江苏省南京市四牌楼2号 | ||