| 发明名称 | 光强衰减装置及其衰减方法 | ||
| 摘要 | 一种用于光刻机的对准系统的自动光强衰减装置，包括控制器，滤光片，电机，光电传感器，其特征在于，所述电机驱动所述滤光片旋转，用以调整入射光的衰减值，所述光电传感器用于向控制器反馈所述滤光片的旋转角度。本发明采用圆形可变中性密度滤光片，其在可见光区到近红外光区内，通过吸收和反射使透过光密度线性衰减。通过控制器控制电机从而控制滤光片的旋转，由此很方便地实现光强的自动无级衰减。 | ||
| 申请公布号 | CN102096325A | 申请公布日期 | 2011.06.15 |
| 申请号 | CN200910200262.1 | 申请日期 | 2009.12.10 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 | 发明人 | 戈亚萍;徐荣伟 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B26/02(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种用于光刻机的对准系统的自动光强衰减装置，包括控制器，滤光片，电机，光电传感器，其特征在于，所述电机驱动所述滤光片旋转，用以调整入射光的衰减值，所述光电传感器用于向控制器反馈所述滤光片的旋转角度。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江高科技园区张东路1525号 | ||