基板输出输入装置以及基板输出输入方法

摘要

本发明提供一种用于从托盘取出基板或者将基板输入托盘的基板输出输入装置。该基板输出输入装置将层叠的托盘分离，并使基板支承销进入到分离的空间内。在基板支承销位于输出输入对象托盘下方的状态下，使基板支承销插通输出输入对象托盘的销插通孔。在取出基板时，借助基板支承销从托盘托起基板，从而能够取出基板。

主权项

一种基板输出输入装置，用于从托盘取出基板或者将基板输入托盘，其特征在于，包括：输送器，用于使层叠有多层托盘的托板移动，所述托盘具有既定数目的销插通孔，托板定位机构，将前述托板定位在前述输送器的既定位置上，托盘升降机构，在借助上述定位机构将前述托板定位了的状态下，将前述多层托盘分离，在分离的托盘之间设置既定的分离空间，托盘分离机构，使与作为输出输入对象的基板相对应的输出输入对象托盘在上述分离空间中上下运动，基板支承销移动机构，用于使支承基板用的基板支承销进入到前述输出输入对象托盘下方以及从前述输出输入对象托盘下方退避，和销插通机构，使前述基板支承销插通前述输出输入对象托盘的前述销插通孔；前述基板支承销通过插通前述销插通孔而从前述输出输入对象托盘突出，借助突出的前述基板支承销，对前述基板以从前述输出输入对象托盘被托起的状态进行支承。