发明名称 阻尼式分流器及气体质量流量控制器
摘要 本实用新型公开了一种阻尼式分流器及气体质量流量控制器,阻尼式分流器包括气体进口、气体出口和分流口,气体出口处设有过滤网。阻尼式分流器能够有效的改善气流性能,结构简单、稳定可靠、并且易加工、易安装、操作使用方便,能够有效的改善气体质量流量控制的性能,提高控制气体流量的准确度。
申请公布号 CN201867656U 申请公布日期 2011.06.15
申请号 CN201020643500.4 申请日期 2010.11.30
申请人 北京七星华创电子股份有限公司 发明人 宋志辉;李凌峰
分类号 G05D7/03(2006.01)I 主分类号 G05D7/03(2006.01)I
代理机构 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 代理人 郑立明;赵镇勇
主权项 一种阻尼式分流器,包括气体进口、气体出口和分流口,其特征在于,所述气体出口处设有过滤网。
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