发明名称 | 阻尼式分流器及气体质量流量控制器 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种阻尼式分流器及气体质量流量控制器,阻尼式分流器包括气体进口、气体出口和分流口,气体出口处设有过滤网。阻尼式分流器能够有效的改善气流性能,结构简单、稳定可靠、并且易加工、易安装、操作使用方便,能够有效的改善气体质量流量控制的性能,提高控制气体流量的准确度。 | ||
申请公布号 | CN201867656U | 申请公布日期 | 2011.06.15 |
申请号 | CN201020643500.4 | 申请日期 | 2010.11.30 |
申请人 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 发明人 | 宋志辉;李凌峰 |
分类号 | G05D7/03(2006.01)I | 主分类号 | G05D7/03(2006.01)I |
代理机构 | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人 | 郑立明;赵镇勇 |
主权项 | 一种阻尼式分流器,包括气体进口、气体出口和分流口,其特征在于,所述气体出口处设有过滤网。 | ||
地址 | 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 |