晶圆的喷雾清洗方法

摘要

本发明公开了一种晶圆的喷雾清洗方法，将待清洗的复数个晶圆竖直依次固定在卡盘上，卡盘固定在喷雾清洗台的传动装置上，该方法包括如下步骤：开启快速排水槽，排干快速排水槽中残余的液体；开启传动装置，同时启动一预定时长的定时器；在定时器达到预定时长时，开启位于晶圆上方的喷嘴，传动装置带动卡盘以及固定于卡盘上的晶圆做上下运动的同时，喷雾清洗化学品液滴从喷嘴中沿着倾斜方向喷射到晶圆表面；清洗结束后，关闭喷嘴、传动装置以及快速排水槽。本发明方案可以减少出现相邻晶圆相互接触的情况，相对于现有技术一个批次只能清洗25片晶圆，采用本发明方案一个批次可以清洗50片或更多的晶圆。

主权项

一种晶圆的喷雾清洗方法，将待清洗的复数个晶圆竖直依次固定在卡盘上，卡盘固定在喷雾清洗台的传动装置上，其特征在于，该方法包括如下步骤：开启快速排水槽，排干快速排水槽中残余的液体；开启传动装置，同时启动一预定时长的定时器；在定时器达到预定时长时，开启位于晶圆上方的喷嘴，传动装置带动卡盘以及固定于卡盘上的晶圆做上下运动的同时，喷雾清洗化学品液滴从喷嘴中沿着倾斜方向喷射到晶圆表面；清洗结束后，关闭喷嘴、传动装置以及快速排水槽。