一种硅基长波红外光波导及其制备方法

摘要

本发明公开了一种硅基长波红外光波导及其制备方法，本发明是在普通硅片上制备出波导结构，再通过热氧化法制备出二氧化硅掩膜，然后进行二次光刻，在波导的两侧开出窗口，KOH溶液进行湿法腐蚀，通过选择合适的浓度及温度实现不同晶面的刻蚀速率，通过侧向腐蚀达到开槽的目的。利用这种方式制备的长波红外下的光波导结构简单，工艺难度小，只需要普通硅片，不用价格昂贵的SOI片，亦无须自停止腐蚀工艺实现背向深刻蚀。针对不同的波长，可以通过对结构参数的优化，可以实现低的传输损耗。

主权项

一种硅基长波红外光波导，其特征在于，它是将衬底硅（4）上的波导（1）下端面两侧利用湿法腐蚀中硅的各向异性腐蚀掏空，形成两个空气槽（2），仅保留一个梯形支撑柱（3）。