| 发明名称 | 氟化物气体的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种氟化物气体的制造方法，该方法能简便且降低制造成本而制造BF3、SiF4、GeF4、PF5或AsF5等氟化物气体。本发明的氟化物气体的制造方法的特征在于，通过将包含能与氟原子形成多原子离子的原子的化合物加入氟化氢溶液中，使得在氟化氢溶液中生成该多原子离子，并生成由所述氟原子和能与该氟原子形成多原子离子的所述原子构成的氟化物气体。 | ||
| 申请公布号 | CN102099286A | 申请公布日期 | 2011.06.15 |
| 申请号 | CN200980128444.0 | 申请日期 | 2009.06.08 |
| 申请人 | 斯泰拉化工公司 | 发明人 | 胁雅秀;薮根辰弘;宫本和博;平野一孝 |
| 分类号 | C01B9/08(2006.01)I;C01B25/10(2006.01)I;C01B33/107(2006.01)I;C01B35/06(2006.01)I;C01G17/04(2006.01)I;C01G28/00(2006.01)I | 主分类号 | C01B9/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人 | 苏萌;钟守期 |
| 主权项 | 一种氟化物气体的制造方法，其特征在于，通过将包含能与氟原子形成多原子离子的原子的化合物加入氟化氢溶液中，使得在氟化氢溶液中生成该多原子离子，从而生成由所述氟原子和能与该氟原子形成多原子离子的所述原子构成的氟化物气体。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||