| 发明名称 | 一种等离子刻蚀用硅片辅助装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及工装夹具技术领域，具体涉及一种等离子刻蚀用硅片辅助装置。包括一块底板，一块端面挡板和一块支撑板，端面挡板固定于底板一端上方，与底板呈90度，底板与端面挡板连接的另一端下方设有支撑板；所述的底板和端面挡板为矩形；端面挡板略小于硅片。该装置能快速整齐的整理待进行等离子刻蚀的硅片，方便实用。 | ||
| 申请公布号 | CN201868462U | 申请公布日期 | 2011.06.15 |
| 申请号 | CN201020568563.8 | 申请日期 | 2010.10.20 |
| 申请人 | 山东力诺太阳能电力股份有限公司 | 发明人 | 任现坤;姜言森;张春燕;杨青天;焦云峰;刘鹏;李玉花;徐振华;程亮;王兆光 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人 | 宋玉霞 |
| 主权项 | 一种等离子刻蚀用硅片辅助装置，包括一块底板，一块端面挡板和一块支撑板，其特征在于，端面挡板固定于底板一端上方，与底板呈90度，底板与端面挡板连接的另一端下方设有支撑板；所述的底板和端面挡板为矩形；端面挡板略小于硅片。 | ||
| 地址 | 250103 山东省济南市历城区经十东路30766号力诺科技园 | ||