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发明名称 MEASURING METHOD FOR A SEMICONDUCTOR STRUCTURE
摘要
申请公布号 EP2331942(A1) 申请公布日期 2011.06.15
申请号 EP20090778178 申请日期 2009.08.28
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;ALBERT-LUDWIGS-UNIVERSITAET FREIBURG 发明人 WURFEL, PETER, WILHELM;SCHUBERT, MARTIN;KASEMANN, MARTIN;WARTA, WILHELM
分类号 G01N21/64;G01N21/66;G01N21/95 主分类号 G01N21/64
代理机构 代理人
主权项
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