| 发明名称 | 用于光刻设备的光学元件支座 | ||
| 摘要 | 一种被配置用于将光学元件(1)安装在用于光刻设备的模块(70，170)中的支座。所述支座包括：多个弹性构件(12)，被构造且布置以沿圆周支撑所述光学元件(1)。每一弹性构件(2)包括多个弹性子部(4′，4″，4″′)，所述弹性子部被配置以围绕光学元件(1)的周长与所述光学元件(1)接合。每一弹性子部被配置成独立于另一弹性子部屈曲。 | ||
| 申请公布号 | CN102099745A | 申请公布日期 | 2011.06.15 |
| 申请号 | CN200980127911.8 | 申请日期 | 2009.07.16 |
| 申请人 | ASML荷兰有限公司 | 发明人 | H·G·泰根波什克;A·M·斯卓克肯;J·克莱恩;R·A·C·M·比伦斯;I·范德瓦哈伦 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 王波波 |
| 主权项 | 一种被配置将光学元件安装在用于光刻设备的模块中的支座，所述支座包括：多个弹性构件，被构造和布置以沿圆周支撑所述光学元件，其中每一弹性构件包括多个弹性子部，所述弹性子部被配置以围绕光学元件的周长与所述光学元件接合，每一弹性子部被配置成独立于另一弹性子部屈曲。 | ||
| 地址 | 荷兰维德霍温 | ||