低热效应投影物镜

摘要

本发明公开了一种低热效应投影物镜，其选择合适材料并通过合理的结构设计，能实现在高曝光剂量下较小的热效应，降低了热效应补偿的难度，同时能在44mm×44mm方形视场范围内实现良好均匀的像质，物方像方工作距离达到30mm，总长不超过800mm，且不包含非球面镜片，不给加工、测试和装调增加难度。

主权项

一种低热效应投影物镜，包括从物方到像方沿光轴依次排列的第一至第十二透镜，所述第六和第七透镜之间设有光阑，所述第一至第六透镜与所述第十二至第七透镜关于所述光阑对称；其特征在于：所述第一、第二透镜具有负光焦度，所述第三、第四透镜具有正光焦度，所述第五、第六透镜组成正负光焦度组合；所述的十二片透镜中，全部采用了10mm内部透光率达到0.999的材料制成，且所述的十二片透镜均不包含非球面表面，热效应敏感度系数KLT/LH相对最大的第五块镜片使用CAF2材料。