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发明名称 EINRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR UNTERSUCHUNG VON PROBEN IN EINER NICHT-VAKUUM-UMGEBUNG UNTER VERWENDUNG EINES RASTERELEKTRONENMIKROSKOPS
摘要
申请公布号 AT510298(T) 申请公布日期 2011.06.15
申请号 AT20010998987T 申请日期 2001.11.30
申请人 YEDA RESEARCH AND DEVELOPMENT CO., LTD.;EL-MUL TECHNOLOGIES LTD 发明人 MOSES, ELISHA;ZIK, ORY;THIBERGE, STEPHAN
分类号 G01N23/225;H01J37/256;G01N1/28;G01N23/00;G01N23/227;G21K7/00;H01J37/16;H01J37/20;H01J37/28 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
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