发明名称 |
显影液及其制备方法与应用 |
摘要 |
本发明公开了一种显影液及其制备方法与应用。该显影液包括碱性化合物、非离子表面活性剂和水。碱性化合物优选四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵和四丙基氢氧化铵中的至少一种。非离子表面活性剂选自椰子油脂肪酸单乙醇酰胺、椰子油脂肪酸二乙醇酰胺、蓖麻油聚氧乙烯(10)醚和蓖麻油聚氧乙烯(30)醚中的至少一种。所述碱性化合物占所述显影液总重的1~15%;所述非离子表面活性剂占所述显影液总重量的0.5~6%;余量为所述水。本发明提供的显影液,有机碱性化合物与非离子表面活性剂形成的水溶液具有良好的互溶性,具有显影性能好、无残渣、操作温度范围宽、环境污染少等特点,在感光性树脂的显影制备工艺中,具有广泛应用。 |
申请公布号 |
CN102096344A |
申请公布日期 |
2011.06.15 |
申请号 |
CN201010592729.4 |
申请日期 |
2010.12.17 |
申请人 |
合肥茂丰电子科技有限公司 |
发明人 |
冯卫文 |
分类号 |
G03F7/32(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/32(2006.01)I |
代理机构 |
北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 |
代理人 |
关畅 |
主权项 |
一种显影液,包括碱性化合物、非离子表面活性剂和水。 |
地址 |
230001 安徽省合肥市胜利路1366号盐业大厦B2座1001室 |