发明名称 以旋转抵固方式固定晶圆限制件模组之前开式晶圆盒
摘要
申请公布号 TWI343353 申请公布日期 2011.06.11
申请号 TW097142441 申请日期 2008.11.04
申请人 家登精密工业股份有限公司 发明人 吕保仪;林志铭;潘冠纶
分类号 B65D85/90 主分类号 B65D85/90
代理机构 代理人 陈培道 新竹县竹东镇中兴路4段195号53馆219室
主权项 一种前开式晶圆盒,主要包括一盒体,该盒体内部系设有复数个插槽以容置复数个晶圆,且在该盒体之一侧面系形成一开口可供该复数个晶圆之输入及输出,以及一门体,系具有一外表面及一内表面,该门体系以该内表面与该盒体之该开口相结合,并用以保护该盒体内部之该复数个晶圆,其中该前开式晶圆盒之特征在于:该门体之该内表面配置至少一限制件模组,该限制件模组具有一基座且在该基座上设有复数个间隔排列之限制件,其中该限制件模组之该基座更具有一孔洞,以及于该门体之该内表面上设有一抵固件,以使该抵固件穿过该限制件模组其基座之该孔洞且经旋转该限制件模组一角度后,该抵固件抵固该限制件模组之上。如申请专利范围第1项所述之前开式晶圆盒,其中该基座之该孔洞之形状系由下列群组中选出:矩形、菱形及椭圆形。如申请专利范围第1项所述之前开式晶圆盒,其中该抵固件系由一突出部及一位于该突出部之自由端之抵固部所组成。。如申请专利范围第3项所述之前开式晶圆盒,其中该抵固件其抵固部之形状系由下列群组中选出:矩形、菱形及椭圆形。如申请专利范围第1项所述之前开式晶圆盒,其中该限制件模组之该基座进一步具有复数个辅助孔洞,且该门体之该内表面上相对于该复数个辅助孔洞处系具有复数个固定柱,以使该限制件模组之该基座以卡入的方式固定于该门体之该内表面。如申请专利范围第1项所述之前开式晶圆盒,其中该复数个间隔排列之限制件系由该基座之一长边所延伸形成的复数个悬臂,每一个悬臂与其自由端之间形成近似半圆形之凸出部,该凸出部上配有一中央导槽,以藉由该些凸出部之中央导槽与该盒体内部之该些晶圆接触。如申请专利范围第6项所述之前开式晶圆盒,其中该凸出部之中央导槽与晶圆接触的地方系表面包覆一耐磨耗材。如申请专利范围第6项所述之前开式晶圆盒,其中该限制件模组系一体成形的结构。如申请专利范围第6项所述之前开式晶圆盒,其中该悬臂与该基座间的角度为10~60度。如申请专利范围第1项所述之前开式晶圆盒,其中该复数个间隔排列之限制件系由该基座之一长边向该门体之该内表面之中央处所弯折形成的复数个支撑臂,每一个支撑臂之自由端上,形成有一向下弯曲的顶持部,以藉由该些顶持部与该盒体内部之该些晶圆接触。如申请专利范围第10项所述之前开式晶圆盒,其中每一该顶持部上进一步形成一近似V形之导槽结构。如申请专利范围第10项所述之前开式晶圆盒,其中该限制件模组系一体成形的结构。如申请专利范围第10项所述之前开式晶圆盒,其中该顶持部与晶圆接触的区域系表面包覆一耐磨耗材。如申请专利范围第10项所述之前开式晶圆盒,其中该支撑臂与该基座间的角度为10~60度。如申请专利范围第1项所述之前开式晶圆盒,其中该复数个间隔排列之限制件之每一个限制件系具有一基部,该基部之一端系固定于该限制件模组之该基座上,而其另一端与一曲臂连接,其中该曲臂具有一第一接触端及一第二接触端。如申请专利范围第15项所述之前开式晶圆盒,其中该限制件模组系一体成形的结构。如申请专利范围第15项所述之前开式晶圆盒,其中该限制件之该基部系一种弹性元件。如申请专利范围第15项所述之前开式晶圆盒,其中该曲臂之该第一接触端及该第二接触端系具一凹陷,以限制该晶圆上下移动。如申请专利范围第15项所述之前开式晶圆盒,其中该门体与该盒体未结合时,每一该限制件之该第一接触端及该第二接触端之连线系与该门体之该内表面互相平行。如申请专利范围第15项所述之前开式晶圆盒,其中该门体与该盒体结合或密合时,每一该限制件之该第一接触端及该第二接触端之连线系与该门体之该内表面呈一夹角。一种前开式晶圆盒,主要包括一盒体,该盒体内部系设有复数个插槽以容置复数个晶圆,且在该盒体之一侧面系形成一开口可供该复数个晶圆之输入及输出,以及一门体,系具有一外表面及一内表面,该门体系以该内表面与该盒体之该开口相结合,并用以保护该盒体内部之该复数个晶圆,其中该前开式晶圆盒之特征在于:该门体之该内表面配置一凹陷区域且该凹陷区域系位于两凸出平台之间,并于该两凸出平台靠近该凹陷区域之边缘上各配置一限制件模组,每一该限制件模组具有一基座且在该基座上设有复数个间隔排列之限制件,其中该限制件模组之该基座更具有一孔洞,以及于该门体之该内表面上设有一抵固件,以使该抵固件穿过该限制件模组其基座之该孔洞且经旋转该限制件模组一角度后,该抵固件抵固该限制件模组之上。如申请专利范围第21项所述之前开式晶圆盒,其中该基座之该孔洞之形状系由下列群组中选出:矩形、菱形及椭圆形。如申请专利范围第21项所述之前开式晶圆盒,其中该抵固件系由一突出部及一位于该突出部之自由端之抵固部所组成。如申请专利范围第23项所述之前开式晶圆盒,其中该抵固件其抵固部之形状系由下列群组中选出:矩形、菱形及椭圆形。如申请专利范围第21项所述之前开式晶圆盒,其中该限制件模组之该基座进一步具有复数个辅助孔洞,且该门体之该内表面上相对于该复数个辅助孔洞处系具有复数个固定柱,以使该限制件模组之该基座以卡入的方式固定于该门体之该内表面。如申请专利范围第21项所述之前开式晶圆盒,其中该复数个间隔排列之限制件系由该基座之一长边所延伸形成的复数个悬臂,每一个悬臂与其自由端之间形成近似半圆形之凸出部,该凸出部上配有一中央导槽,以藉由该些凸出部之中央导槽与该盒体内部之该些晶圆接触。如申请专利范围第26项所述之前开式晶圆盒,其中该凸出部之中央导槽与晶圆接触的地方系表面包覆一耐磨耗材。如申请专利范围第26项所述之前开式晶圆盒,其中该限制件模组系一体成形的结构。如申请专利范围第26项所述之前开式晶圆盒,其中该基座进一步具有复数个圆孔。如申请专利范围第26项所述之前开式晶圆盒,其中该悬臂与该基座间的角度为10~60度。如申请专利范围第21项所述之前开式晶圆盒,其中该复数个间隔排列之限制件系由该基座之一长边向该凹陷区域所弯折形成的复数个支撑臂,每一个支撑臂之自由端上,形成有一向下弯曲的顶持部,以藉由该些顶持部与该盒体内部之该些晶圆接触。如申请专利范围第31项所述之前开式晶圆盒,其中每一该顶持部上进一步形成一近似V形之导槽结构。如申请专利范围第31项所述之前开式晶圆盒,其中该限制件模组系一体成形的结构。如申请专利范围第31项所述之前开式晶圆盒,其中该顶持部与晶圆接触的区域系表面包覆一耐磨耗材。如申请专利范围第31项所述之前开式晶圆盒,其中该支撑臂与该基座间的角度为10~60度。一种前开式晶圆盒,主要包括一盒体,该盒体内部系设有复数个插槽以容置复数个晶圆,且在该盒体之一侧面系形成一开口可供该复数个晶圆之输入及输出,以及一门体,系具有一外表面及一内表面,该门体系以该内表面与该盒体之该开口相结合,并用以保护该盒体内部之该复数个晶圆,其中该前开式晶圆盒之特征在于:该门体之该内表面配置一凹陷区域且该凹陷区域系位于两凸出平台之间,并于该两凸出平台靠近该凹陷区域之边缘上各配置一限制件模组,每一该限制件模组具有一基座且在该基座上设有复数个间隔排列之限制件,该限制件模组之该基座系具有一矩形安装孔,该矩形安装孔中配置有复数个弹性片,以使该些弹性片之间形成一孔洞,而于该门体之该内表面上设有一抵固件,以使该抵固件穿过该限制件模组其基座之该孔洞且经旋转该限制件模组一角度后,抵压该些弹性片,使该限制件模组固定于该门体之该内表面上。如申请专利范围第36项所述之前开式晶圆盒,其中该抵固件系由一突出部及一位于该突出部之自由端之抵固部所组成。。如申请专利范围第37项所述之前开式晶圆盒,其中该抵固部系一矩形形状。如申请专利范围第36项所述之前开式晶圆盒,其中该限制件模组之该基座进一步具有复数个辅助孔洞,且该门体之该内表面上相对于该复数个辅助孔洞处系具有复数个固定柱,以使该限制件模组之该基座以卡入的方式固定于该门体之该内表面。如申请专利范围第36项所述之前开式晶圆盒,其中该复数个间隔排列之限制件系由该基座之一长边所延伸形成的复数个悬臂,每一个悬臂与其自由端之间形成近似半圆形之凸出部,该凸出部上配有一中央导槽,以藉由该些凸出部之中央导槽与该盒体内部之该些晶圆接触。如申请专利范围第40项所述之前开式晶圆盒,其中该凸出部之中央导槽与晶圆接触的地方系表面包覆一耐磨耗材。如申请专利范围第40项所述之前开式晶圆盒,其中该限制件模组系一体成形的结构。如申请专利范围第40项所述之前开式晶圆盒,其中该悬臂与该基座间的角度为10~60度。如申请专利范围第36项所述之前开式晶圆盒,其中该复数个间隔排列之限制件系由该基座之一长边向该凹陷区域所弯折形成的复数个支撑臂,每一个支撑臂之自由端上,形成有一向下弯曲的顶持部,以藉由该些顶持部与该盒体内部之该些晶圆接触。如申请专利范围第44项所述之前开式晶圆盒,其中每一该顶持部上进一步形成一近似V形之导槽结构。如申请专利范围第44项所述之前开式晶圆盒,其中该限制件模组系一体成形的结构。如申请专利范围第44项所述之前开式晶圆盒,其中该顶持部与晶圆接触的区域系表面包覆一耐磨耗材。如申请专利范围第44项所述之前开式晶圆盒,其中该支撑臂与该基座间的角度为10~60度。
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